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1)控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡單,易于維護(hù)
1)控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成,故障率低,可靠性強(qiáng),操作簡單,易于維護(hù)。
2)傳片方式通過導(dǎo)軌絲桿傳動。
3)主軸使用高速直流無刷電機(jī),帶數(shù)字顯示,精確控制轉(zhuǎn)速。
4)自主設(shè)計開發(fā)薄膜式的噴膠泵,出膠穩(wěn)定,自帶回吸,保證了定量滴膠,可節(jié)省光刻膠用量。
5)效率高,雙軸運動方式,上料與下料單獨控制,采用雙加熱盤,降低等待時間。
6)設(shè)置靈活,多功能。通過一鍵設(shè)置,可將自動滴膠轉(zhuǎn)換為手動滴膠。
7)熱板控溫方式為可控硅,自帶超溫保護(hù)系統(tǒng),熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便硅片烘烤。
轉(zhuǎn)速 6000RPM
轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)度 ≤1-4%RPM
勻膠 滴膠手臂控制 步進(jìn)馬達(dá)
滴膠頭位置精準(zhǔn) ≤0.2mm
該設(shè)備為全自動上下料勻膠設(shè)備,主要應(yīng)用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干,采用標(biāo)準(zhǔn)片盒收放片,自動運行。該設(shè)備為單軌道形式,上料、涂膠、烘干、取料。
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