透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,簡稱TEM),可以看到在光學(xué)顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu),這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu),就必須選擇波長更短的光源,以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡,電子束的波長要比可見光和紫外光短得多,并且電子束的波長與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比,也就是說電壓越高波長越短。TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。
技術(shù)參數(shù)表:
80kv時(shí)的分辨率(nm) |
點(diǎn)分辨率 | 0.50 nm |
線分辨率 | 0.34 nm |
加速電壓 |
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范圍 | 50kV,80kV |
穩(wěn)定性 | 8×10-6 |
放大倍數(shù) |
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范圍 | 200X to 400,000X |
步驟 | 16 |
衍射 |
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選定區(qū)域 | >1.5μm直徑,選定孔徑(SAD) |
>3μm直徑,采用微光束照明 |
照明系統(tǒng) |
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電子槍 | 預(yù)中心鎢發(fā)夾絲 |
光束對(duì)準(zhǔn) | 電磁光束對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) |
雙冷凝器 | 工廠雙冷凝器系統(tǒng)標(biāo)本保持一致 |
直徑3μm至2mm可調(diào) |
物鏡 |
焦距 | 2.6mm |
球面像差 | 2.2mm |
色差 | 1.7mm |
散光 | <> |
投影儀鏡頭 |
鏡片數(shù)量 | 3個(gè)電磁投影儀鏡頭保持一致 |
穩(wěn)定性 | 6×10-6 |
成像模式 |
暗場 | 可用 |
亮場 | 可用 |
圖像匹配算法 | 可用 |
真空系統(tǒng) |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)渦輪分子 |
真空計(jì) | 皮拉尼和冷陰極 |
真空壓力 | 高真空壓力低至10-6m bar |
運(yùn)動(dòng) |
X-Y樣本運(yùn)動(dòng) | 機(jī)械化 |
樣品臺(tái)傾角 | 可選(詳情可自定義) |
光圈 | 機(jī)動(dòng)化 |
軟件 |
成像 | 可用 |
圖像處理 | 可用 |
光圈控制 | 可用 |
X-Y樣品控制 | 可用 |
真空控制 | 可用 |
數(shù)字成像系統(tǒng) |
閃爍體的電動(dòng)控制 |
10倍光學(xué)變焦 |
16.0MP高分辨率傳感器(4608H×3456V) |
每秒最多25幀 |
高速數(shù)據(jù)傳輸 |
應(yīng)用領(lǐng)域:
1.蛋白質(zhì)和細(xì)胞成像 2.病毒學(xué) 3.病理學(xué) 4.生物學(xué)研究 5.形狀特征和 納米結(jié)構(gòu)的尺寸 材料 6.研究多相和 復(fù)合材料 7.研究結(jié)構(gòu)缺陷和多孔性 8.結(jié)晶學(xué).