壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)別的最小步長(zhǎng)，從而解決了傳統(tǒng)納米臺(tái)行程小而微米電動(dòng)臺(tái)分辯精度不高的問題