上海奇穆實(shí)業(yè)有限公司總代理中國(guó)臺(tái)灣DINO純水藥液PFA氣動(dòng)閥
PFA閥門是一種用于半導(dǎo)體制造等高純度流體工業(yè)的特殊閥門，主要由PFA材料制成，具有的耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的密封性能。在PFA閥門中，氣動(dòng)隔膜閥作為其中一個(gè)重要的類型，在流體控制領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。
PFA氣動(dòng)隔膜閥在高需求的半導(dǎo)體制造和其他高純度液體處理過(guò)程中具有越來(lái)越重要的地位。它采用層壓聚合物、四氟等材料制成的隔膜實(shí)現(xiàn)操作。氣動(dòng)隔膜閥可以快速開啟和關(guān)閉，而且可以用于非常高的壓力范圍和流量控制。當(dāng)氣源送入氣動(dòng)閥充氣腔時(shí)，隔膜將被推動(dòng)，從而打開或關(guān)閉閥門，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體的控制。
PFA氣動(dòng)隔膜閥相對(duì)于傳統(tǒng)的金屬閥門的優(yōu)點(diǎn)在于：首先，PFA材料本身就是一種化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)的聚合物材料，對(duì)多數(shù)酸、堿及有機(jī)溶劑(如氯仿、硝酸等)的化學(xué)腐蝕極小;其次，PFA隔膜保證了閥門具有良好的密封性能，可以避免介質(zhì)與閥門內(nèi)壁接觸而產(chǎn)生二次污染。
在半導(dǎo)體行業(yè)中，PFA閥門廣泛應(yīng)用于高純度各種介質(zhì)和腐蝕性介質(zhì)的控制，例如制造中使用的超純水、酸堿液體等。同時(shí)，在半導(dǎo)體工藝流程中，對(duì)清洗過(guò)程的要求非常高。半導(dǎo)體清洗閥門通常是采用無(wú)腐蝕、高溫 PFA 材料制成。這種材料經(jīng)受住強(qiáng)酸、強(qiáng)堿甚至是高溫條件的考驗(yàn)，并且不會(huì)影響到系統(tǒng)中的微量器件。在清洗閥門中，特殊設(shè)計(jì)的密封系統(tǒng)可確保不會(huì)出現(xiàn)泄漏或二次污染，并且保持較長(zhǎng)時(shí)間的使用壽命。除此之外，氣動(dòng)隔膜閥門在清洗過(guò)程中起到了關(guān)鍵的作用。
