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深圳市圭華智能科技有限公司
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BC激光除膜機
● 激光在線能量實時監測
● 4臺激光器同步工作
● 隱裂NG前端剔料
● CCD自動矯正定位
● 智能反饋
● 運行穩定,便于維修
項目 | 技術參數 |
設備型號 | G6009 |
激光器 | 1064nm 5W ≤10ps |
激光壽命 | ≥20000小時 |
平臺精度 | 重復精度±0. 5um ,定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
平臺運行速度 | 運行速度800mm/s ,速度1000mm/s |
平臺運行加速度 | 運行加速度1.8G ,加速度2. 5G |
平臺切割范圍 | 300* 300mm |
適應產品尺寸 | 4 -8寸晶圓 |
適應材質 | 藍寶石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
控制及軟件 | LASER STUDIO ,集成視覺 、激光和運動 |
設備重量 | 2500kg |
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