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深圳市萬德泉科技有限公司


QMG 700 分析質(zhì)譜儀

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商鋪產(chǎn)品:22條

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聯(lián)系人:簡俊勇

產(chǎn)品簡介

QMG 700 分析質(zhì)譜儀QMG 700 分析質(zhì)譜儀超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率 半導體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒炇抑校x擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限,推動工藝創(chuàng)新,提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢,獲得出眾的測量能力。 根據(jù)具體的應用要求,選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數(shù)量級的動態(tài)測量量程,達到ppb 檢測量級,這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質(zhì)量范圍都有很高的分辨率,對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰(zhàn)性的測量應用,如同位素分析,氦和氘分離等,QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測量,有效控制您的工藝。 INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和的技術(shù),確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長,您可獲得始終如一的高精度......

詳細介紹

QMG 700 分析質(zhì)譜儀

超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率

半導體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒炇抑校x擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限,推動工藝創(chuàng)新,提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢,獲得出眾的測量能力。


根據(jù)具體的應用要求,選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數(shù)量級的動態(tài)測量量程,達到ppb 檢測量級,這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質(zhì)量范圍都有很高的分辨率,對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些挑戰(zhàn)性的測量應用,如同位素分析,氦和氘分離等,QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測量,有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和的技術(shù),確保QMG 700 成為進行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長,您可獲得始終如一的高精度測量數(shù)據(jù)。


功能

  • 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
  • 超過九個數(shù)量級的動態(tài)量程
  • 極快的測量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 涵蓋整個質(zhì)量范圍的高分辨率:質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離

  • 超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
  • 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
  • 用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數(shù)前置放大器
  • IO 選項:8 個模擬輸入/輸出和 32 個數(shù)字輸入/輸出
  • 軟件功能強大,靈活實用且具友好的用戶界面

典型應用

  • Gas discharge mass spectrometry
  • End point detection
  • Deposition material monitoring
  • Secondary ion mass spectrometry

零件號

QMA 400
零件號 明細
490-709
490-710 QMA 400 with axial Ionenq.
490-711 QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712 QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713 QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721 QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722 QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756 QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2 QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-770 QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772 QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736 QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件號 明細
490-811 QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813 QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816 QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件號 明細
490-911 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921 QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)

規(guī)格

類型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
質(zhì)量范圍 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
傳感器長度 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
桿直徑 8 mm 16 mm 8 mm
桿材料 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
法蘭 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
檢測器類型 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
工作壓力 (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
工作壓力 (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
靈敏度 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
最小可檢測分壓 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
分辨率(可調(diào)) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
分壓比 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
工作溫度 傳感器 150 °C 150 °C 150 °C
烘烤溫度 400 °C 400 °C 400 °C
工作溫度 電子單元 40 °C 40 °C 40 °C
測量速度 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
電源 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可檢測質(zhì)量范圍為:1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

QMA 400 的規(guī)格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

(2) QMA 410 的可檢測質(zhì)量范圍: 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的規(guī)格基于 128 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

關(guān)鍵詞:質(zhì)譜儀 PP 傳感器

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