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渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE

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渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延系統(tǒng) Lazer MBE
激光分子束外延 Lazer MBE 是一種晶體生長(zhǎng)技術(shù), 將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中, 和將需要生長(zhǎng)的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中, 由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長(zhǎng)出極薄的. 可薄至單原子層水平, 單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu). 分子束外延主要研究的是不同結(jié)構(gòu)或不同材料的晶體和超晶格的生長(zhǎng), 該方法生長(zhǎng)溫度低, 能?chē)?yán)格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度.

分子束外延系統(tǒng)需要高真空環(huán)境!
外延系統(tǒng)中的超高真空腔體對(duì)真空度要求及其高, 對(duì)真空腔體的密封性, 材料放氣率, 微量雜質(zhì)氣體和水蒸氣比較敏感,德國(guó) Pfeiffer 分子泵可提供穩(wěn)定的真空環(huán)境, 對(duì)晶格的生長(zhǎng)起到良好的作用

上海伯東激光分子束外延 Lazer MBE 客戶(hù)案例一: 某真空設(shè)備商采購(gòu) Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 400, HiPace 80 用于激光分子束外延系統(tǒng), 系統(tǒng)功能
1. 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長(zhǎng)
2. 超高真空生長(zhǎng)室, 直徑 12英寸.
3. 額定基壓：<1x10-6 Torr
4. 配有12個(gè)加熱泄流源.
5. 襯底加熱器加熱溫度 950℃
6. 可放置 6個(gè)1"的靶及 3個(gè)2"的靶
7. 質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)入真空腔的流量, 量程 100sccm.
8. 線(xiàn)型進(jìn)樣室實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)送片
渦輪分子泵應(yīng)用于激光分子束外延 Lazer MBE
分子束外延超高真空系統(tǒng)配置

渦輪分子泵

渦輪分子泵 HiPace 400
接口: DN 100 CF-F
極限真空: < 5X10-10 mbar
氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
抽速: 355 l/s

渦輪分子泵

渦輪分子泵 HiPace 80
接口: DN 63 CF-F
極限真空: < 5X10-10 mbar
氮?dú)鈮嚎s比: > 1X1011
抽速: 67 l/s

隔膜泵

隔膜泵 MVP 020
口徑: DN 8+G1/8”
極限真空: 3 mbar
抽速: 1.2 m3/h


Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對(duì)小分子氣體具有更高的壓縮比, 實(shí)踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時(shí)間可以達(dá)到 100,000 小時(shí)! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>

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關(guān)鍵詞：流量計(jì) 隔膜泵
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