真空機械手PHOENIX PLUS B系列

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更新時間：2023-09-12 08:52:22瀏覽次數：195次

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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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產品簡介

直驅電機結構，與PHOENIX B系列相比，將控制器集成到機械手本體之內，大大縮減了整體尺寸，IO處理模塊進行升級，具有*的防碰撞保護功能。滿足個性化設計，支持用戶定制，手臂長度可選，可為客戶提供接口及末端定制服務。

詳細介紹

直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性好，可靠性高。與PINUS B系列相比，將控制器集成到機械手本體之內，大大縮減了整體尺寸，并且縮短了互聯線纜長度，可靠性得以提升。IO處理模塊，可以根據用戶需求配置輸入輸出數量，有效電平可以切換，用戶可以根據需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。碰撞保護功能可以減少用戶誤操作導致的各種損失。以示教器作為人機交互媒介，方便調試人員使用?？梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?，定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。

參數：

本體重量Body Weight	50KG
適用晶圓尺寸Wafer Size	300mm/200mm/150mm/100mm
負載Payload	1KG
電源輸入Power Supply	24 V DC, ±5%
節拍Bear	10.5 s(Pick+Rotate180°+Place，與手指材料、傳輸位置相關)
動態偏差糾正精度(AWC)	±0.1mm
重復定位精度Repeatability	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.006°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure	5X10^-9Torr
適用溫度 Applicable temperature	法蘭:<120℃;本體:<50℃;手臂:<120℃
潔凈度Clean Class	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
復合運動 Compound motion	支持Support
PC遠程操作軟件	支持Support
通信接口Communications	Ethernet/串口serial interface
IO互鎖IO interlock	支持Support
安全區Safe area	支持Support
碰撞保護 Collision protection	支持Support