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SEMISTAR-MR124安川機器人

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眾川機器人系統工程成立于2017年,注冊資本為2000萬元人民幣,生產面積2500平米。公司位于蘇州市吳中經濟開發區天鵝蕩路27號。公司主營業務為以工業機器人為核心的柔性智能化生產裝備的系統集成以及非標自動化設備。為全國制造行業客戶提供一站式智能化整體解決方案和交鑰匙項目。 公司涉及實施的柔性智能化生產裝備系統集成項目主要包括沖壓智能化生產線、焊裝智能化生產線、機加智能化生產線、裝配智能化生產線、一般工業智能化生產線以及汽車零部件非標自動化等。 眾川致力于工業智能化非標設備的研制,始終秉著“穩定、實用、優質”的設計理念,應各種需求進行方案設計、研發、試制、優化等一系列縝密工作,以求用我們的設計方案,解決每一位客戶的難題。 眾川作為擁有智能化集成能力的智能化集成商,與KUKA、ABB、FANUC、KAWASAKI、YASAKAWA等廠家保持著友好的戰略聯盟。 公司成立至今,一直奉行“追求共贏,以客戶為中心,以員工為本,追求員工、公司、客戶和社會的共贏。信譽鑄就品牌”的企業理念,憑借著自身的技術優勢與工程經驗,服務于廣大客戶。
并聯機器人
大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率
SEMISTAR-MR124安川機器人 產品信息

大動作范圍:EFEM模塊移動距離可達4套應用設備,無需使用底架,極大地提高了搬運效率。
高速搬運:300枚/小時
適用:300mm-450mm晶片搬運


項目 規格
機械臂 適用晶體尺寸 300mm(450m)*1
晶體把持方式 真空吸附夾具或邊緣夾具
標準邊緣效應器長*2 對應345mm@300mm的晶體
驅動軸數 5軸
手臂類型 單臂
動作范圍 R軸伸縮*3 1215mm
θ軸回旋 330°
Z軸升降 480mm
B軸回轉 440°
最小回轉半徑*2 510mm
速度*2 伸縮 260°/s
回旋 330°/s
升降 550mm/s
B軸回轉 350°/s
線性 2000mm/s
重復定位精度*2 0.1mm(P-P)
質量 66kg
位置調整器 適用晶體尺寸 300mm
晶體把持方式 真空吸附夾具
檢出對象 凹槽
晶體材質 珪素*4
晶體邊緣檢出傳感器 LED + CCD線性傳感器
動作范圍 回旋 無限制
速度(加速/減速時間) 回旋 1000°/s(0.1s/0.1s)
LINEMENT精度 ±0.03°
LINEMENT時間 1.7秒以下
質量 5.8kg
設置環境 潔凈等級*5 ISO等級1
使用溫度·濕度 20~30℃,35~55%RH(不結露)
保管溫度·濕度 0~40℃,35~80%RH(不結露)
標高 表高1000m以下
環境 無爆炸性,腐蝕性,可燃性氣體
MCBF 1500次循環以上

*1:本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2:300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
*3:機械臂回旋中心位置~晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
*4:根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應(有業績)。但是根據石英規格,本公司需要進行評價和調整。
*5:在0.3m/s的流量下,機械臂進行真空吸附

關鍵詞:傳感器
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