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自動上下料晶圓開槽機

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公司名稱蘇州天弘激光股份有限公司
品牌
型號
所在地蘇州市
廠商性質其他
更新時間2024/12/14 13:15:48
訪問次數17

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公司介紹主營產品

蘇州天弘激光股份有限公司始創于2001年1月，注冊資本7232萬元。公司專注于工業數字化智能裝備的研發、制造和服務，是以激光技術為核心的數字化智能裝備及自動化產線提供商，主要為下游客戶提供“激光+機器視覺+自動化+MES”的綜合解決方案。產品涉及激光焊接應用裝備及自動化生產線、激光精細加工系列設備、激光切割機系列設備等三大類百余種智能裝備及產線，主要應用于新能源鋰電行業、新能源光伏行業、半導體行業、汽車及汽車零部件行業等。技術涵蓋：軟件、機械、電氣、運動控制、機器人、光學、圖像、材料、激光等。現分別設有蘇州總部、浙江公司、宿遷公司、廣東公司。

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激光切割機

產品簡介在線詢價

設備廣泛應用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及Low-K 材料的開槽切割全自動上下料，自動對位、劃片速度快，效率高，降低破片率

自動上下料晶圓開槽機產品信息

激光器功率:

10w/15w/30w

加工幅面:

5 inch（可兼容 6inch）

產品特點：

» 全自動上下料，自動對位、劃片速度快，效率高，降低破片率
» 非接觸式加工，無機械應力，芯片質量高
» CCD 快速定位功能，可升級雙面 CCD 識別功能
» 大理石基臺，穩定可靠，熱變形小
» 劃線工藝專家系統
» 晶圓背面劃刻十字對位線功能
» 配備自動裂片設備，操作簡便效率高

規格參數：

設備型號	TH-8211	TH-8212
激光類型	紫外 UV	紫外 UV
激光波長	355nm	355nm
激光功率	10w/15w/30w	10w/15w/30w
加工晶圓尺寸上限	5 inch（可兼容 6inch）	5 inch（可兼容 6inch）
劃線速度	1000/1500/3000mm/s	50/80/100mm/s
劃線線寬	150-300μm	20-40μm
劃線線深	< 10μm（視材料而定）	< 120μm（視材料而定）
系統定位精度	±5μm	±5μm
重復定位精度	±2μm	±2μm
激光器使用壽命	1.2 萬小時	1.2 萬小時
機器外型尺寸	126011601820mm	126011601820mm
整機重量	1500kg	1500kg