激光器功率:
5W-30W
產品特點:
» 劃片速度快,效率高,成片率高
» 非接觸式加工,無機械應力,芯片質量高
» CCD 快速定位功能,實時同軸監視或旁軸監視功能
» 高精度二維直線運動平臺,高精度DD旋轉平臺
» 大理石基臺,穩定可靠,熱變形小
» 劃線工藝專家系統
» 高可靠性和穩定性
» 配備自動裂片設備,操作簡便效率高
規格參數:
樣品展示:
晶圓正切樣品
晶圓正切樣品